產品介紹

小型射頻等離子清洗機TS-PL10MA產品參數：

小型射頻等離子清洗機TS-PL10MA產品特點：

卓越的密封性腔體:采用進口316不銹鋼腔體，軍工級的高真空度真空腔體設計及制造工藝。

高密度等離子電源技術：采用進口等離子電源電路技術，確保出眾的清洗效果。

獨有放電技術：特殊處理的放電裝置，確保形成穩定均勻的等離子體。

高精度氣體流量監測系統：兩種工藝氣體配置(氬氣、氧氣等非腐蝕性氣體），雙路氣流控制，比例可調，采用MFC質量流量計、氣體管路及閥件。

優質產品部件：產品部件采用國內外頂尖優質品牌，確保設備性能優越。

數字計時單元：1-9999s選擇范圍時間顯示，處理過程結束后自動終止。

適用形狀復雜樣品：清洗各種復雜形狀的產品，包括內孔內壁，全方位均勻清洗。

處理全程無污染 ：等離子清洗機本身是很環保的設備，無產生任何污染，處理過程也無產生任何污染。

射頻等離子清洗機的基本構造：

根據用途的不同，可選用多種構造的等離子清洗設備，并可通過選用不同種類的氣體，調整裝置的特征參數等方法使工藝流程實現最佳化。 但等離子清洗機的基本結構大致是相同的， 一般裝置可由真空室、真空泵、射頻電源、電 極、氣體導入系統、工件傳送系統和控制系統等部分組成。通常使用的真空泵是旋轉油泵，射頻電源通常用13.56 MHz的無線電波。設備的運行過程如下：

 （1 ）被清洗的工件送入真空室并加以固定， 啟動運行裝置，開始排氣，使真空室內的真空程度達到10 Pa 左右的標準真空度。一般排氣時間大約需要 2 min。

（2 ）向真空室引入等離子清洗用的氣體，并使其壓力保持在100Pa。 根據清洗材質的不同，可分別選用氧氣、氫 氣、氬氣或氮氣等氣體。

（3 ）在真空室內的電極與接地裝置之間施加 高頻電壓，使氣體被擊穿，并通過輝光放電而發 生離子化和產生等離子體。讓在真空室產生的等離子體完全籠罩住被處理工件，開始清洗作業。一 般清洗處理持續幾十秒到幾分鐘。

（4 ）清洗完畢后切斷高頻電壓，并將氣體及氣化的污垢排出，同時向真空室內鼓入空氣，并使氣壓升至一個大氣壓。