產品介紹

?TS-PL15MA/P 晶圓等離子刻蝕機高配版

1.真空腔規格: 材質316不銹鋼 L270mm*W280mm*H200mm

2.電極：平板氣浴(yu)電極，材質6061-T6鋁合(he)金? ? 功率電極：1? ? 接地電極：1

3. 電極(ji)尺寸(cun)：230mm *230mm（最大可(ke)處理產(chan)品尺寸(cun)，可(ke)處理8寸(cun)晶(jing)圓）

4. 頻率：13.56MHz

5. 功率：0-300W連續(xu)可調，可在設備運(yun)行中隨時調整參數。

6. 氣(qi)體控制：MFC質量流量計(ji)， 0-500ml 2路氣(qi)體

7. 真空度(du)測量儀器： 2色(se)顯(xian)示式高精度(du)數字式壓(ya)力(li)開關（SMC）

8. 控(kong)制方式：7寸工業控(kong)制觸摸屏，全(quan)手(shou)動(dong)控(kong)制和全(quan)自動(dong)控(kong)制兩種(zhong)控(kong)制方式

9. 控制軟(ruan)件功能：界面顯示(shi)實時工作狀(zhuang)態(tai)

10.設備規(gui)格尺寸：長600mm 寬600mm 高700mm

11.電極(ji)(ji)(ji)板(ban)配置：配備(bei)3個(ge)卡槽位(wei)（接地電極(ji)(ji)(ji)），極(ji)(ji)(ji)板(ban)間距離可(ke)調整，可(ke)按需(xu)求調整極(ji)(ji)(ji)板(ban)位(wei)置

TS-PL15MA 晶圓等離子刻蝕機標準版

1.真空腔規格: 材(cai)質316不銹鋼 L270mm*W280mm*H200mm

2.電極(ji)：平(ping)板(ban)氣(qi)浴電極(ji)，材質6061-T6鋁合金? ? 功率電極(ji)：1? ? ? 接地(di)電極(ji)：1

3. 電極尺(chi)寸(cun)(cun)：230mm *230mm（最大可處理產品尺(chi)寸(cun)(cun)，可處理8寸(cun)(cun)晶圓）

4. 頻率：13.56MHz

5. 功率：0-300W連續(xu)可調(diao)，可在設備(bei)運行中(zhong)隨時(shi)調(diao)整參數。

6. 氣體(ti)控(kong)制(zhi)：精密針閥(fa)式浮子流量(liang)計， 0-1000ml 2路氣體(ti)

7. 真空度測量儀器： 2色顯(xian)示式(shi)高精(jing)度數字式(shi)壓力(li)開關（SMC）

8. 控制方式：4.3寸(cun)工業(ye)控制觸摸屏，全手動控制和全自動控制兩種控制方式

9. 控(kong)制軟(ruan)件功能：界面顯示實(shi)時工作狀態

10.設(she)備規格尺寸：長600mm 寬600mm 高(gao)700mm

11.電(dian)極(ji)(ji)板配置(zhi)：配備3個卡槽位(wei)（接地電(dian)極(ji)(ji)），極(ji)(ji)板間(jian)距離可調整，可按需求調整極(ji)(ji)板位(wei)置(zhi)