PDMS聚二甲基硅氧烷，縮寫為 PDMS，這是一種有機硅類的聚合物，其得到了非常頻繁和廣泛的使用。所有有機硅都具有共同的重復硅氧烷單元，其分別由一個 Si-O 基團所組成。硅原子上可以結合很多側基團。如果是?PDMS，這些側基團則為甲基基團 CH3。聚合物可與各種?鏈末端結合。最常見的是三甲基甲硅烷氧基團 Si-SH3。僅由兩個末端基團（無二甲基甲硅烷氧單體單元）組成的最短的分子是六甲基二硅氧烷?HMDSO，其作為疏水等離子涂層的工藝氣體是非常重要的。

PDMS 是線性聚合物，其分子量極高并呈液態。但是，其可以互相結合，并因此具有彈性特性。

PDMS 是一種幾乎為惰性并具有高抗氧化性的聚合物，其同樣可以在有機電子領域中用作電絕緣體（微電子或者聚合物電子），還可用于生物微分析領域。

低壓等離子體對于 PDMS 最常見的一種應用便是微流體系統領域，應用時按照客戶要求對指定的聚二甲基硅氧烷（例如：Sylgard 184）進行結構化，然后可以進行等離子處理，并在玻璃板、硅表面或者其他基材上永久涂覆 PDMS 芯片。

對微流體系統進行等離子預處理的優點：

較短的工藝時間
PDMS 永久粘結至基材表面，借此形成微流體部件的不滲透型通道
PDMS 和基材表面的親水化，并借此完全潤濕通道
形成親水-疏水區域

微流體系統的應用：

從微觀層面對化學反應和液體流動進行研究
檢測生物有機體
醫療檢查時快速的臨床診斷和藥物檢查

PDMS 預處理的工藝參數

工藝氣體： 氧氣 (O2) 或室內空氣
壓力： 0.1 – 1.0 mbar
發生器： 13.56 MHz，功率介于 50 – 300 W 之間
工藝時間： 10 – 60 秒

PDMS鍵合設備，參考TS-SY05等離子處理機