等離子清洗機利用等離子體中高能粒子和活性粒子，通過轟擊或活化反應作用達到將金屬表面污物去除的目的。等離子體清洗的過程中不使用化學試劑，所以不會造成二次污染，清洗設備可重復性強，所以設備的運行成本比較低，而且操作靈活簡單，可以實現對金屬表面的整體或某些局部及復雜結構的清洗；有些經過等離子體清洗后的表面性能還可以得到改善，有助于金屬的后續加工應用。

等離子體清洗的機理

等離子體中處理存在著大量的氣體分子、電子和離子外，還存在大量受激發的中性原子、原子團自由基及等離子體射出的光線。等離子體清洗是利用離子、電子、受激原子、自由基及其射出的光線與被清洗表面的污染物分子分別發生活化反應而最終將污染物清除的過程。

電子在金屬表面清洗過程中的作用

在等離子體中，電子與原子或分子之間的碰撞，可以產生激發態中性原子或原子團（又稱自由基），這些激發態原子或自由基與污染物分子發生活化反應而使污染物脫離金屬表面。當電子輸運到表面清洗區域時，與清洗表面吸附的污染物分子發生碰撞，會促使污染物分子發生分解而產生活性自由基，這會有利于引發污染物分子的進一步活化反應；而且，質量很小的電子比離子運動要快得多，因此電子要比離子更早到達物體表面，并使表面帶有負電荷，從而有利于引發進一步活化反應。

離子在金屬表面清洗過程中的作用

一方面是陽離子被附有負電荷的物體表面所加速獲得很大的動能，發生純物理碰撞，可以使得附著在物體表面的污物被剝離；另一方面，陽離子的撞擊作用還可以增加物體表面污染物分子發生活化反應的幾率。

自由基在金屬表面清洗過程中的作用

一般情況下，等離子體中自由基的存在數量比離子多，呈現電中性，壽命比較長，且具有大的能量比較高。在清洗過程中，表面的污染物分子很容易與高能的自由基相結合而產生新的自由基，這些新的自由基也居于高能狀態，極不穩定，很容易自身分解而轉變為較小的分子，同時生成新的自由基，這種過程將持續不斷的進行下去，直至被分解成穩定的易揮發的簡單小分子，最終使污染物脫離金屬表面，在此過程中，自由基的主要作用表現在活化作用過程中的能量傳遞，在自由基與表面污物分子相結合的過程中，會有大量的結合能釋放出來，被釋放出的能量作為推進表面污物分子發生新的活化反應的動力，有利于污染物在等離子體的活化作用下更徹底地被清除掉。

發射光線在金屬表面清洗過程中的作用

等離子體產生的同時會發射出光線，它具有很高的能量且穿透力很強，金屬表面污物分子在光線的作用下，分子鍵斷裂而被分解，從而有利于推動黏附在金屬表面上的污染物分子發生進一步的活化反應。
綜上所述，等離子清洗機主要是憑借等離子體中的電子、離子、激發態原子及自由基等活性離子的活化作用，將金屬表面有機污染物的大分子一步步分解而最終產生穩定的易揮發的簡單小分子，終將黏著在表面的污物徹底脫離清除。同時，經過等離子體清洗后的金屬表面附著性能和表面潤濕性可以極大程度的被改善，而這些性能的改善對金屬材料的進一步表面處理也是非常有利的。隨著高科技產業的快速發展，等離子體清洗的應用越來越廣，目前已廣泛應用在電子工業、半導體行業和光電行業等高科技領域。