等離子體處理儀
- 產品編號：TS-PL60MA
- 產品規格： 等離子體清洗儀
- 產品用途：
生物芯片領域；高分子材料研究
產品介紹
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型號 |
TS-PL60MA |
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外形尺寸（WDH)mm |
1000*1030*1630 |
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射頻電源 |
13.56MHz |
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真空腔體 |
進口316不銹鋼，軍工級密封 |
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腔體尺寸 |
W400×H400×D450mm |
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工作真空度 |
5-70Pa |
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真空泵 |
?油泵/干泵（選配） |
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真空管路組件 |
全不銹鋼管路+波紋管 |
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內置水平式電極 |
380*380*15mm |
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氣體流量監測系統 |
質量流量控制器 0-500ML |
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氣體通道 |
2路，支持氧氣，氬氣，氮氣，氫氣，四氟化碳等 |
| 控制方式 | PLC+觸摸屏 |
等離子體處理儀是通過利用對氣體施加足夠的能量使之離化成為等離子狀態，利用這些活性組分的性質來處理樣品表面，從而實現清潔、改性、光刻膠灰化等的目的。
等離子體清洗儀產品特點：
不分處理對象的基材類型，對金屬、半導體和大多數高分子材料，如聚丙烯、聚脂、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理，并可實現整體和局部以及復雜結構的清洗。