plasma等離子清洗機會導致金屬表面被氧化嗎？答案是跟所通入的清洗氣體有關。等離子清洗的原理是在真空狀態下使電極之間形成高頻交變電場，區域內氣體在高頻交變電場的激蕩下形成等離子體，活性等離子體對被清洗物進行物理轟擊和化學反應雙重作用。

plasma等離子清洗機所通入的氣體按照作用原理可將氣體分為兩類，一類是氫氣、氧氣等反應性氣體；另一類是氬氣、氦氣、氮氣等非反應性氣體。其中氫氣主要應用于清洗金屬表面的氧化物，發生還原反應。氧氣主要應用于清洗物體表面的有機物發生氧化反應。

假如通入的氣體為惰性氣體如氬氣，就不會對產品金屬表面產生氧化。氬氣等離子清洗的機理是利用粒子動能產生的物理清洗效應。是純物理作用、物理撞擊可將表面高分子的鍵合打斷，從而形成微結構粗糙面。如使用氬氣利用正離子撞擊方式使含C-H鍵的污染物脫離達到清洗效果。物理清洗方式是等離子濺射的一種輕微形式，濺射需要的輸入能量比清洗要高。

假如通入的氣體為氧氣或者包含氧氣的空氣，這就會對產品表面造成一定程度的氧化。氧氣等離子清洗主要是通過化學反應來清洗物質表面，通過氧化燃燒高分子聚合物和有機物，或者形成雙鍵結構的官能團，可表面改性，并伴隨一定的物理過程。

在有些金屬表面清洗，是必需要用到氧氣的情況下，例如金屬表面有有機污染物，油污油脂之類的，我們可以先通入氧氣對產品表面的有機污染物進行一個清洗去除掉。這個時候金屬表面可能會被氧化，我們再次通過氫氣清洗還原掉被氧化的物質。這種情況在產品表面本身就有氧化層的情況同樣適用。在使用氫氣的時候，一定要注意不能只通入純氫，因為氫氣的濃度過高會有一定的危險性。一般我們建議使用氬氫混合氣體，將氬氣的比例控制在95%，氫氣的比例控制在5%，這樣就不會有危險了。

總結如下，plasma等離子清洗機不一定會導致金屬表面氧化，跟所通入的氣體有關，在清洗表面氧化物時用純氫雖然效率高，但這里主要考慮放電的穩定性和安全，在應用時選用氬氫混合較為合適，另外對于材料易氧化或易還原的材料也可以采用顛倒氧氣和氬氫氣體的清洗順序來達到清洗徹底的目的。