等離子去膠機
- 產品編號:TS-ET15
- 產品規格: 等離子去膠機
- 產品用途:
光刻膠、殘膠、膠膜去除
產品介紹
產品參數:
設備型號 | TS-ET15等離子去膠機 |
控制方式 | PLC+觸摸屏 |
供電電源 | AC220V(±10V),50/60hz |
等離子源功率 | 300W(連續可調) |
等離子源頻率 | 13.56MHz |
工藝氣體通道 | 2路氣體通道, 可通入氣體:氬氣、氫氣、氧氣、氮氣、空氣等 |
氣體流量控制 | 精密針閥式浮子流量計(2路) |
內腔尺寸(方形) | L270*W280*H200 mm 材質:316不銹鋼 |
電極板尺寸 | 230mm *230mm (最大可處理產品:8英寸晶圓,每次可處理一片) |
外形尺寸(mm) | 長550mm x 寬550mm x 高800mm |
產品特點:
去膠快速干凈徹底
對清洗樣片無損傷
操作簡單方便
桌面式設計,占地面積小
最大可處理8英寸晶圓
典型應用:
高劑量離子注入光刻膠的去除
濕法或干法刻蝕前后殘膠去除
MEMS中犧牲層的去除
去除化學殘余物
去浮渣工藝
SU-8光刻膠去除
負性光刻膠去除
可以利用等離子去膠機除去玻璃晶圓表面的部分殘余圖形化光刻膠。